Дёмин И.Е. Козлов А.Г.
Газочувствительные свойства тонких плёнок системы In2O3–Ga2O3
Докладчик: Дёмин И.Е.
Методом импульсного лазерного напыления получены тонкие пленки двухкомпонентного материала In2O3–Ga2O3 с различным соотношением компонент. Исследованы температурные зависимости газового отклика сопротивления данных пленок на этанол, ацетон, аммиак и смесь пропан-бутан. Используя рассматриваемые зависимости, получены энергии активации газового отклика сопротивления пленок. Показано, что наибольшую величину газового отклика на исследуемые газы имеют пленки с составом 50%In2O3–50%Ga2O3. На температурной зависимости газового отклика сопротивления пленок на аммиак в диапазоне температур 300...500 °C обнаружен участок с величиной отклика меньше единицы.
К списку докладов