VII Всероссийская научно-техническая конференция «РОССИЯ МОЛОДАЯ: ПЕРЕДОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ – В ПРОМЫШЛЕННОСТЬ», 11-13 апреля 2017 года, Омск, Россия

Омск

Дёмин И.Е.   Козлов А.Г.  

Газочувствительные свойства тонких плёнок системы In2O3–Ga2O3

Докладчик: Дёмин И.Е.

Методом импульсного лазерного напыления получены тонкие пленки двухкомпонентного материала In₂O₃–Ga₂O₃ с различным соотношением компонент. Исследованы температурные зависимости газового отклика сопротивления данных пленок на этанол, ацетон, аммиак и смесь пропан-бутан. Используя рассматриваемые зависимости, получены энергии активации газового отклика сопротивления пленок. Показано, что наибольшую величину газового отклика на исследуемые газы имеют пленки с составом  50%In₂O₃–50%Ga₂O₃. На температурной зависимости газового отклика сопротивления пленок на аммиак в диапазоне температур 300...500 °C обнаружен участок с величиной отклика меньше единицы.