Назад
Котерева, Татьяна Владимировна
Старший научный сотрудник, Кандидат химических наук
Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН
Россия, Нижний Новгород
Доклад
Котерева Т.В.
*
,
Гавва В.А.
*
,
Гусев А.В.
*
Диагностика примесного состава высокочистого моносилана по результатам анализа контрольного монокристалла кремния.
*
Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН (Нижний Новгород), Россия
К списку участников