Минушев, Айрат

Доклад

• Махвиладзе Т.М.^*, Минушев А.^*, Сарычев М.Е.^**
  СМР -процесс для медной металлизации в кремниевой нанотранзисторной электронике
  ^*Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия
  ^**Физико-технологический институт РАН (Москва), Россия