Котерева, Татьяна Владимировна
Старший научный сотрудник, Кандидат химических наукИнститут химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН
Россия, Нижний Новгород
Доклад
- Котерева Т.В.*, Гавва В.А.*, Гусев А.В.*
Диагностика примесного состава высокочистого моносилана по результатам анализа контрольного монокристалла кремния.
*Институт химии высокочистых веществ им. Г.Г. Девятых РАН (Нижний Новгород), Россия