Матюшкин, Игорь Валерьевич
Заведующий лабораторией, Кандидат физико-математических наукОАО "НИИ молекулярной электроники"
http://www.mikron.ru/
Россия, 124460, Москва, Зеленоград, 1й Западный проезд, 12/1
Телефон: +7(495)2297279, Факс: +7(495)2297280
Доклад
- Матюшкин И.В.*, Коробов С.В.*, Михайлов А.Н.**, Тетельбаум Д.И.**
Клеточно-автоматное моделирование процессов вторичного дефектообразования при ионной имплантации
*ОАО "НИИ молекулярной электроники" (Москва), Россия
**Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского (Нижний Новгород), Россия