Найда, Галина Акимовна
Ведущий научный сотрудник, Кандидат технических наукНациональгный исследовательский университет"МИЭТ"
Россия, Москва
Доклад
- Найда Г.А.*, Прокофьева В.К.*
Влияние дефектов структуры кремниевой подложки на формирование эпитаксиального слоя AlN
*Национальгный исследовательский университет"МИЭТ" (Москва), Россия