Семенова, Ольга Ивановна
Заведующий лабораторией, Кандидат химических наукИнститут физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН
http://www.isp.nsc.ru/
Россия, 630090, Новосибирск, пр. ак. Лаврентьева, 13
Телефон: +7(383) 333-27-66, Факс: +7(383) 333-27-71
Список докладов
- Yu Y.*, Семенова О.И.**
Strained Silicon in Electronics and Photonics
*Institute of Semiconductors CAS (Пекин), Китай
**Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия - Семенова О.И.*, Козельская А.И.**, Спесивцев Е.В.***
Механические напряжения в плазмохимическом SiNx:H
*Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия
**Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск), Россия
***Объединенный институт физики полупроводников СО РАН (Новосибирск), Россия - Косинова М.Л.*, Ермакова Е.Н.*, Семенова О.И.**
Оптические покрытия на основе фаз системы Si-N-C-H
*Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН (Новосибирcк), Россия
**Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (Новосибирск), Россия