Пушкарев Р.   Файнер Н.   Румянцев Ю.   Максимовский Е.  

Получение слоев Fe-Si-C-N с помощью термического разложения паров кремнийорганических соединений и ферроцена

Докладчик: Пушкарев Р.

Комментарии

Имя:
Код подтверждения: