Никулина Л.Д. Сысоев С.В. Цырендоржиева И.П. Гостевский Б.А. Рахлин В.И. Косинова М.Л. Кузнецов Ф.А.
Влияние структурных особенностей кремний- и борорганических соединений на физико-химические свойства прекурсоров для синтеза пленок SiCxNy и SiBxCyNz
Докладчик: Косинова М.Л.
Файл тезисов: | КосиноваМЛ_3.doc |
К списку докладов